2025年9月1日讯：近日，中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司年产1500吨高纯氯化氢扩建项目竣工环境保护验收报告公示。

据悉，该项目总投资9658万元。主要建设内容包括：在131#生产车间一南侧建设精馏装置，132#生产车间二内建设充装装置、真空系统和分析系统，135#三废二区建设尾气处理装置，同时在315#动力车间二建设冷水机组。 项目建成后年产高纯氯化氢1500吨。

延伸阅读：高纯氯化氢是指纯度高于99.999%的氯化氢气体，是电子工业中不可或缺的高纯电子特气之一。其生产工艺主要包括合成纯化法、尾气回收法和低温吸附法，通过多级纯化、精馏和吸附等技术去除水分、金属离子及有机物等杂质，以满足半导体、光伏等行业对气体的极高要求。高纯氯化氢广泛应用于集成电路、光纤预制棒和光伏单晶硅等领域的刻蚀、外延和钝化工艺中，尤其在半导体制造中用于硅片表面清洗和氮化硅的化学气相沉积，对提高器件性能与良率具有关键作用。随着全球半导体产业向更高制程发展，以及光伏、LED等新兴行业的持续扩张，高纯氯化氢的市场需求稳步增长。未来，生产工艺将进一步朝向绿色节能、纯化效率提升和智能化控制方向发展，应用前景广阔。

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