2025年11月19日讯：近日，中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司年产200吨高纯六氟丁二烯建设项目环境影响评价公众参与征求意见稿公示。

据悉，该项目投资382.57 万元，属改扩建项目，建设于中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司现有厂区1区，项目依托建设完成的高纯六氟丁二烯生产线部分设备进行了技术改造，以粗品六氟丁二烯粗品为原料，通过精馏系统进行提纯加工，生产高纯六氟丁二烯产品，年产高纯六氟丁二烯200吨。

延伸阅读：

六氟丁二烯是一种全氟化的不饱和烃类化合物，作为特种电子气体的核心品类，其在半导体工业中扮演着至关重要的角色。从定义上看，它因其分子结构中包含六个氟原子和一个丁二烯骨架而得名，而用于尖端芯片制造时，则必须达到“高纯”级别，以确保极低的杂质干扰。其广泛应用于制造10纳米及以下技术节点的集成电路。相较于传统气体，六氟丁二烯在蚀刻晶圆上极其细微的电路结构时，能实现更高的刻蚀选择比、更精准的轮廓控制和更陡直的侧壁形貌，从而显著提升芯片的性能与制造良率。随着全球半导体产业持续更先进制程迈进，以及三维NAND闪存等复杂器件结构的普及，对六氟丁二烯的需求将持续增长。同时，在绿色制造趋势下，其相对较低的全球变暖潜能值也使其更具环保优势。因此，高纯六氟丁二烯作将在未来高端芯片制造中扮演不可或缺的角色。

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