
2026年03月26日讯:近日,建滔(衡阳)实业有限公司年产1万吨含氯电子级特气(一期)项目环境影响报告受理公示。
据了解,该项目位于湖南省衡阳市松木经开区,总投资5000万元,项目性质为改建项目。项目分两期建设:其中一期工程建设规模为年产1000吨电子级氯化氢、2000吨化学级氯化氢及1000吨电子级液氯产能;二期工程建设规模为年产1000吨电子级氯化氢、4000吨化学级氯化氢及1000吨电子级液氯产能,二期工程尚未设计。
延伸阅读:
电子级氯化氢与电子级液氯是半导体制造工艺中的核心高纯特种气体,其纯度通常达到99.999%以上,金属杂质含量严格控制在ppb级别。其中,电子级氯化氢主要用作外延生长、刻蚀工艺中的清洗气体,尤其在硅基半导体单晶硅片生产及晶圆清洗环节不可或缺;而电子级液氯则广泛应用于化合物半导体(如砷化镓、氮化镓)的刻蚀与掺杂,是3D闪存、逻辑芯片等高端器件制造的关键原料。随着5G通信、人工智能及新能源汽车产业的蓬勃发展,芯片制程不断向纳米级演进,对这两种电子特气的纯度、稳定性和包装技术提出了更高要求。未来,在国产化替代浪潮与全球半导体产业链重构的双重驱动下,电子级氯化氢与液氯的产能扩张、高纯制备技术优化以及安全输送系统的研发,将成为行业发展的核心方向,市场前景广阔且战略地位日益凸显。
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