2026年07月24日讯：近日，淄博市生态环境局高青分局发布关于电子级高纯气体技术改造项目环境影响评价文件受理情况的公示。

该项目建设地点位于淄博市高青县高青化工产业园，总投资4500万元，属技改项目，

项目利用公司含氟高端电子材料及配套化学品项目进行建设，增加年产100吨高纯电子级八氟丙烷和1000吨高纯电子级八氟环丁烷生产装置，项目建成后，年产100吨高纯电子级八氟丙烷，原八氟环丁烷产品中有1000吨/年由现有的电子级达到高纯电子级。

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高纯电子级八氟丙烷是一种化学性质极不活泼、热稳定性良好的含氟电子气体，主要通过精馏与吸附提纯制得。作为半导体制造中的关键材料，它凭借高选择性的等离子刻蚀特性，能精准与硅片基质反应，广泛应用于超大规模集成电路的等离子刻蚀工艺，同时也作为腔体清洗剂，有效去除半导体表面的残留物。随着芯片制程不断微缩，市场对其纯度的要求日益严苛。当前，围绕其提纯技术的攻关是行业热点，旨在突破共沸杂质分离难题。在AI芯片需求激增的驱动下，其全球市场规模预计将持续增长，国产化替代进程正加速推进。

高纯电子级八氟环丁烷同样是一种无色、无毒、化学性能稳定的绿色环保型特种气体，其臭氧消耗潜势值为零。在半导体领域，它主要用于超大规模集成电路的蚀刻和清洗环节，凭借其稳定的化学性质确保工艺安全。随着生产工艺与相关国家标准的日趋完善，国内企业正积极布局产能，以满足下游庞大的市场需求。除了电子工业，它还被用作制冷剂、发泡剂及食品气雾喷射剂等。未来，在下游晶圆厂持续扩产及显示面板产业发展的带动下，高纯八氟环丁烷的市场发展空间将持续拓展，行业景气度稳步提升。

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