
2026年09月08日讯:近日,安徽氟瑞星化工有限公司年产5万吨化学纯氢氟酸及1.5万吨刻蚀液扩产项目在相关网站公示。
项目总投资:总投资11000万元,其中环保投资260万元。建设内容及规模:现有厂区占地面积36566.12m2,本项目对现有厂区《年产4万吨电子级氢氟酸、4万吨化学纯氢氟酸及4.5万吨刻蚀液项目(一期工程)项目》中的化学纯氢氟酸及刻蚀液生产方案进行部分调整,新增2套化学纯氢氟酸生产装置(4台调配器),用于生产化学纯氢氟酸;新增 6套刻蚀液生产装置(6台调配罐),用于生产刻蚀液;新增一座戊类罐区二;项目建成后,全厂形成年产9万吨/年化学纯氢氟酸(其中5万吨/年外售,4万吨/年用于生产刻蚀液)、6万吨/年刻蚀液的生产能力。
延伸阅读:化学纯氢氟酸最核心的竞争力在于对二氧化硅的独特溶解能力。它能够与硅氧化物反应生成可挥发的水溶性六氟硅酸,这一化学性质使其成为半导体制造中唯一能选择性蚀刻二氧化硅层的试剂,几乎找不到性能等效的替代品。同时,高纯氢氟酸中的金属离子含量可控制在ppt(万亿分之一)级别,杂质极低,保证了在纳米级制程中不会引入污染或缺陷。化学纯氢氟酸超过80%的用量集中在半导体和显示面板领域。在晶圆制造中,它用于RCA标准清洗流程中的氧化层去除、多晶硅和氮化硅的湿法蚀刻,以及芯片沟槽结构的深加工。平板显示领域,它用于TFT-LCD和OLED玻璃基板的减薄和蚀刻。光伏行业也大量使用——硅片制绒清洗环节依赖氢氟酸去除表面氧化层和金属杂质。此外,它还是特种氟化工品(如六氟磷酸锂、氟化盐)的重要原料,在下游锂电池电解液中也占有一席之地。
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