2026年09月17日讯：近日，浙江中宁硅业股份有限公司新增100t/a氟氮混合气及5t/a丙硅烷灌装技改项目生态环境影响评价信息公示。

该项目属改扩建项目，建设地点位于衢州智造新城高新片区华荫北路27号现有厂区内，项目计划投资1200万元，在原有批复的一条100t/a氟氮混合气生产线基础上，新购置电解槽、氟冷器、纯化器、含氟尾气吸附塔、配气罐、压缩机等生产设备，新增一条100t/a氟氮混合气生产线。对原有批复的100t/a乙硅烷生产线进行技改，技改后乙硅烷产能变为20t/a，同时增加5t/a丙硅烷灌装设备。项目建成后最终形成200t/a氟氮混合气生产、20t/a乙硅烷灌装生产、5t/a丙硅烷灌装生产规模。

延伸阅读：

氟氮混合气是由高纯度氟气与惰性氮气按精确比例混合而成的特种气体，常见氟气浓度为10%或20%，氮气作为稀释载体使高反应性的氟气能够在受控条件下安全使用。其核心应用集中在半导体制造领域，用于干法蚀刻和CVD腔体清洗工艺，凭借高选择性和低污染优势成为集成电路生产中不可或缺的关键材料。此外，该气体还广泛用于汽车和制药工业中的塑料表面氟化处理，以及平板显示、光伏、医疗等领域。市场前景方面，受半导体产业持续扩张和先进制程节点演进驱动，全球氟氮混合气市场保持稳健增长，随着我国半导体国产化进程加速，本土氟氮混合气供应商正逐步打破国外垄断格局。

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